特許
J-GLOBAL ID：200903042166256437
蛍光式温度計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-224422
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048063
出願日： 1996年08月07日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】簡単な構造で確実に被測定物の温度を正確に測定することができ、例えば静電チャックによって確実に被測定物をステージ上に把持することができる蛍光式温度計を提供する。【解決手段】蛍光式温度計は、被測定物に接触する温度測定用部材10と、温度測定用部材10とは離れた位置に配設された光ファイバ13を具備し、温度測定用部材10は高熱伝導率を有する材料から作製され、光ファイバ13の光射出部と対向する温度測定用部材10の面には蛍光体11が塗布されている。そして、温度測定用部材10は、付勢部材12によって光ファイバ13に取り付けられている。あるいは又、温度測定用部材10は、被測定物を載置するステージ16に付勢部材12Aによって取り付けられており、光ファイバ13は支持部材15によってステージ16に取り付けられている。
請求項（抜粋）：
光ファイバを通じて光パルスを照射したときの蛍光体の発光特性の温度依存性に基づき、被測定物の温度を測定する蛍光式温度計であって、被測定物に接触する温度測定用部材と、温度測定用部材とは離れた位置に配設された光ファイバを具備し、該温度測定用部材は高熱伝導率を有する材料から作製され、光ファイバの光射出部と対向する該温度測定用部材の面には蛍光体が塗布されており、温度測定用部材は、付勢部材によって光ファイバに取り付けられていることを特徴とする蛍光式温度計。
IPC (4件)：
G01K 11/12
, H01L 21/66
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
G01K 11/12 C
, H01L 21/66 T
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
