特許
J-GLOBAL ID：200903042168334770
オンチップマイクロレンズの形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252539
公開番号（公開出願番号）：特開平10-098173
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 H方向とV方向との焦点距離を独立して制御可能とし、平面視略長方形でも理想的な集光状態が得られるオンチップマイクロレンズを形成できるようにする。【解決手段】 光電変換を行う受光部2の受光面2a上に平坦化透光層3を介してオンチップマイクロレンズ6を形成する固体撮像素子用のオンチップマイクロレンズ6の形成方法において、まず平坦化透光層3上に感光性の透光樹脂層4を形成し、透光樹脂層4を露光・現像することにより、横辺と縦辺とからなる平面視略矩形の透光樹脂パターン5を形成する。この工程には、上記横辺を形成するための第1露光と、上記縦辺を形成するための第2露光とが備えられており、かつこれら第1露光と第2露光とがそれぞれ別に行われる。次いで、形成された透光樹脂パターン5を熱処理してオンチップマイクロレンズ6を得る。
請求項（抜粋）：
光電変換を行う受光部の受光面上に、表面が平坦な平坦化透光層を介してオンチップマイクロレンズを形成する固体撮像素子用のオンチップマイクロレンズの形成方法において、前記平坦化透光層上に感光性の透光樹脂層を形成し、該透光樹脂層を露光・現像することにより、横辺と縦辺とからなる平面視略矩形の透光樹脂パターンを形成する第1工程と、前記形成された透光樹脂パターンを熱処理してオンチップマイクロレンズを得る第2工程とを有し、前記第1工程には、前記横辺を形成するための第1露光と、前記縦辺を形成するための第2露光とが備えられ、かつこれら第1露光と第2露光とがそれぞれ別に行われることを特徴とするオンチップマイクロレンズの形成方法。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, H01L 31/0232
, H04N 5/335
H01L 27/14 D
, H04N 5/335 V
, H01L 31/02 D
