特許

J-GLOBAL ID：200903042168985266

真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方法および装置

発明者： フォルカー バウアー ,  ゲラルト レービッヒ ,  トーマス クルーク ,  アルベルト フォイアーシュタイン ,  ゲルト ホフマン
出願人/特許権者： ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-206201
公開番号（公開出願番号）：特開平6-158319
出願日： 1993年08月20日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 導電性の層においても、非導電性の層においても、巻取り時に折り目形成を生ぜしめるような表面電荷でシートを負荷することなく、冷却ローラに対するシートの静電圧着をもたらすような方法を提供する。【構成】 高出力被覆源の上方に位置する回転する冷却ローラ14に載着されたシート区分12に被覆材料を凝縮させ、しかも被覆前にシート12に電荷キャリヤを供給して、シート12の電荷状態を変化させて、真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方法において、シート12が冷却ローラ14に載着されている間に、被覆前でシート12を3〜10kVの電圧を有する熱電子エミッタ23による電子衝撃にさらす。

請求項（抜粋）：

高出力被覆源の上方に位置する回転する冷却ローラに載着されたシート区分に被覆材料を凝縮させ、しかも被覆前にシートに電荷キャリヤを供給し、これによってシートの電荷状態を変化させて、真空中で高出力被覆源によって非導電性のシートを連続的に被覆する方法において、シートが冷却ローラに載着されている間に、被覆前でシートを3〜10kVの電圧を有する熱電子エミッタによる電子衝撃にさらすことを特徴とする、真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方法。

IPC (2件)：

C23C 14/56 ,  C23C 14/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-040373
  
• 特開平2-247383
  
• 特開平3-097860
  
• 特開平3-079763