特許
J-GLOBAL ID：200903042173949448
IC試験システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217430
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061491
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 ハンドラの分割ロスを無くし、システムの経済化を図る。【解決手段】 1台のハンドラとm(m≧2)台のICテスタによってIC試験システムを構成する。各ICテスタ1は本体1aと、その本体にケーブル1cで接続されたテストヘッド1bより成る。ハンドラ2は、ICの同時測定数Nh がNt ×m(Nt は各ICテスタの同時測定数)とされる。ハンドラ2は各ICテスタのテストヘッド1bにNt 個のICをコンタクトさせるコンタクト部2a,2a′,...、各ICテスタと通信ケーブルを介してデータ通信するインターフェース部2bと、各部を制御する制御部2eを有する。制御部2eに各ICテスタの動作を制御する機能や、各ICテスタをデータ端末として、これらと通信するための通信制御機能をもたせることもできる。またハンドラ2と各ICテスタ1をLANに接続してもよい。ハンドラと各ICテスタをホストコンピュータに直接収容することもできる。
請求項（抜粋）：
1台のハンドラと、第1〜第m(m≧2)ICテスタとより成るIC試験システムであって、前記第i(i=1〜m)ICテスタは、本体と、その本体にケーブルで接続されたテストヘッドとより成り、前記ハンドラは、ICの同時測定数(Nh)がNt ×m(Nt は各ICテスタの同時測定数)とされ、前記第i(i=1〜m)ICテスタのテストヘッドにNt個のICをコンタクトさせる第i(i=1〜m)コンタクト部と、ICを第i(i=1〜m)コンタクト部へ搬送するローダ部と、試験済ICを試験結果に基いて分類するアンローダ部と、前記第i(i=1〜m)ICテスタと通信ケーブルを介してデータ通信するインターフェース部と、前記第i(i=1〜m)コンタクト部、ローダ部、アンローダ部及びインターフェース部を制御する制御部と、より成ることを特徴とするIC試験システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 Z
, H01L 21/66 Z
