特許
J-GLOBAL ID：200903042177079944
アルカリ性水溶液及び感光性樹脂組成物のパターン形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-335785
公開番号（公開出願番号）：特開平10-171126
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 感度、膜減り率に優れるのみならず、パターン加工工程におけるスカムをなくし、高解像度が得られる感光性樹脂組成物のパターン形成方法を提供する。【解決手段】 特定の構造のポリアミド、ジアゾキノン化合物からなるポジ型感光性樹脂組成物を基板等に塗布し、プリベークを行い、光照射を行った後、アニオン性界面活性剤を含むアルカリ性水溶液で露光部を溶解除去して、パターンを得る感光性樹脂組成物のパターン形成方法。
請求項（抜粋）：
アニオン性界面活性剤並びにカルシウム、ストロンチウム及びバリウムの化合物から選ばれる1種以上の化合物を含むアルカリ性水溶液。
IPC (3件)：
G03F 7/32
, G03F 7/004 504
, G03F 7/075 511
G03F 7/32
, G03F 7/004 504
, G03F 7/075 511
