特許
J-GLOBAL ID：200903042182291153
電極基板及びその検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-308469
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148838
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 信頼性及び再現性の高い導通検査を行うことができる透明電極を備えた電極基板を提供する。【解決手段】 透明基板1上にIn2O3薄膜(厚み500オングストローム)20、銀薄膜(厚み150オングストローム)3、及びIn2O3薄膜(厚み500オングストローム)2aをこの順に積層してなるストライプ状の透明電極を形成し、かかるストライプ状の透明電極の両端部においてIn2O3薄膜20の一部を除去して銀薄膜3を露出させる。露出させた銀薄膜3にタングステン製の針状プローブ4を接触させて、透明電極の導通検査を行うと、再現性及び信頼性の高い検査を行うことができる。
請求項（抜粋）：
透明基板上に金属薄膜を内部層として含む多層構造のストライプ状の透明電極を形成してなる電極基板であって、前記ストライプ状の透明電極の両端部において前記金属薄膜を露出させたことを特徴とする電極基板。
IPC (6件)：
G02F 1/1343
, G01R 31/00
, G02B 5/20 101
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1335 505
, G09F 9/30 333
G02F 1/1343
, G01R 31/00
, G02B 5/20 101
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1335 505
, G09F 9/30 333
