特許
J-GLOBAL ID：200903042187125146
圧力センサ及びこの圧力センサを用いた流量計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-081690
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294694
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 精度が良くかつ長期に渡ってその性能を維持し安価な圧力センサを提供すること。【構成】 圧電セラミックスからなる片持ち梁18と、この片持ち梁18の両側にそれぞれ流体が導入される圧力室15,16を形成する圧力室形成体14と、前記圧力室15,16へ個別に流体を導入する2個の入口ノズル15a,16aと、前記片持ち梁18の歪により生ずる電気出力を増幅して出力する増幅器21とを備えた。
請求項（抜粋）：
圧電セラミックスからなる片持ち梁と、この片持ち梁の両側にそれぞれ流体が導入される圧力室を形成する圧力室形成体と、前記圧力室へ個別に流体を導入する2個の入口ノズルと、前記片持ち梁の歪により生ずる電気出力を増幅して出力する増幅器とを備えたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/08
, G01F 1/20
, G01F 1/32
