特許

J-GLOBAL ID：200903042192290309

電子線加速装置

発明者： 久保 俊郎 ,  戸所 秀男 ,  寺門 貞夫 ,  渡辺 俊一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-100817
公開番号（公開出願番号）：特開平11-297248
出願日： 1998年04月13日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】排気にイオンポンプが使われた電子線加速装置は、イオンポンプの漏洩磁界のうち、電子線通路に対して垂直方向成分によって電子線が曲がってしまう。この曲り量は加速電圧に依存するため、加速電圧を低加速から高加速まで任意に変えるような装置では軸ずれが生じてしまう。【解決手段】電子銃を排気するイオンポンプを電子線通路に対して対象に偶数個配置することによって、イオンポンプの漏洩磁界の電子線通路に対して垂直成分をキャンセルすることが可能となる。

請求項（抜粋）：

電子線発生源と、前記電子線発生源から電子を引き出す引出電極と、加速電圧を印加する加速管と、前記電子線発生源から電子線を引き出すように前記引出電極に引出電圧を印加する電源と、前記電子線を加速するように加速管に加速電圧を印加する電源と、電子線通路および加速管内部を真空排気するイオンポンプあるいは類似のポンプを備えた電子線加速装置において、電子線加速装置の電子線通路の部分を超高真空排気するために取付けられた遇数個のイオンポンプ、あるいは類似のポンプを該ポンプから電子線通路まで漏れ出す磁界のうち電子線進行方向に対して、垂直な成分をキャンセルするように電子線通路に軸対象に取付けたことを特徴とする電子線加速装置。

IPC (3件)：

H01J 37/06 ,  H01J 37/18 ,  H01J 41/12

FI (3件)：

H01J 37/06 A ,  H01J 37/18 ,  H01J 41/12