特許
J-GLOBAL ID：200903042201310482
トンネル搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342827
公開番号（公開出願番号）：特開平7-172578
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：
【要約】【目的】 複数のプロセス処理装置間或いはプロセス処理装置と真空保管庫間に複数個のトンネル搬送装置を設置面積の拡大を必要とすることなく配置することのできるトンネル搬送装置を提供する。【構成】 処理装置間又は処理装置と保管装置間に、該各装置間を接続する外気と隔離して被搬送物を搬送する複数のトンネル搬送装置を備え、該複数のトンネル搬送装置は上下方向に並べて配置されている。
請求項（抜粋）：
処理装置間又は処理装置と保管装置間に、該各装置間を接続する外気と隔離して被搬送物を搬送する複数のトンネル搬送装置を備え、該複数のトンネル搬送装置は上下方向に並べて配置されていることを特徴とするトンネル搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 54/02
, B65G 49/07
, H01L 21/68
