特許

J-GLOBAL ID：200903042203670419

液晶成分の除去装置及びその除去方法

発明者： 吉沢 英樹 ,  戸川 大亮 ,  井出 秀彦
出願人/特許権者： アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016071
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221728
出願日： 2001年01月24日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】 液晶表示素子製造工程のうち、液晶を取扱う液晶取扱い室の内壁や内部の構造物等に付着して汚染する液晶成分を除去する。【解決手段】 液晶取扱い室に、第1流入開口部(第1流入口)50と、第1流入開口部(第1排出口)50に接続されガスを流入する第1流入ライン(ガス流入手段)52と、液晶注入室10内部のガスを加熱する第1ヒータ(加熱手段)54と、第1排出開口部(第1排出口)56と、第1排出開口部56に接続され、流入ガスと液晶成分から成る排出成分を排出する第1排出ライン(排出手段)58とを設けて、液晶成分を液晶取扱い室の外部から内部へ排出する。

請求項（抜粋）：

液晶取扱い室内に残存する液晶成分の除去装置であって、前記液晶取扱い室に設けられた第1流入口及び第1排出口と、該第1流入口に結合されていて、前記液晶取扱い室の外部から内部へガスを流入させるガス流入手段と、前記液晶取扱い室の内部に設けられ、該液晶取扱い室の内部を加熱して、前記内部に残存する前記液晶成分を蒸発させるための加熱手段と、前記第1排出口に結合されていて、蒸発した前記液晶成分を前記ガスの流れに引き込んで、前記液晶取扱い室の内部から外部へ、前記ガス及び蒸発した前記液晶成分を排出成分として排出させる排出手段とを有することを特徴とする液晶成分の除去装置。

Fターム (5件)：

2H089NA21 ,  2H089NA60 ,  2H089QA08 ,  2H089QA12 ,  2H089QA16