微少寸法測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-256514
公開番号（公開出願番号）：特開平10-103924
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】測定対象パターンの傾きを求めることができ演算時間を大幅に短縮でき、従来は角度補正が困難であった測定対象パターンまでも正しく角度補正することができる微少寸法測定装置を提供すること。【解決手段】平行線を含む測定対象パターンを光学顕微鏡で拡大し、測定対象パターンを平行線に対してある交差角を持つ方向で走査して画像情報を取得し、この画像情報をもとにして平行線の間隔を測定する装置であり、測定対象パターンの像を光学顕微鏡の光軸と同軸に回転させる像回転手段14と、測定対象パターン像を所定角度だけ回転させたときの像回転前後における走査ライン上の平行線の幅を測定する手段9と、この手段で測定された像回転前後の幅測定値と像回転量とに基づいて走査線方向と平行線との交差角を演算する傾き検出手段9とを具備する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1組の平行線を含む測定対象パターンを光学顕微鏡で拡大し、この拡大された測定対象パターンを前記平行線に対してある交差角を持つ方向で走査して画像情報を取得し、この画像情報をもとにして前記平行線の間隔を測定する微少寸法測定装置において、前記測定対象パターンの像を前記光学顕微鏡の光軸と同軸に回転させる像回転手段と、この像回転手段で測定対象パターン像を所定角度だけ回転させたときの像回転前後における走査ライン上の前記平行線の幅を測定する手段と、この手段で測定された像回転前後の幅測定値と像回転量とに基づいて走査線方向と前記平行線との交差角を演算する傾き検出手段とを具備したことを特徴とする微少寸法測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/02 , G01B 11/26 , G02B 21/00 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/02 H , G01B 11/26 H , G02B 21/00 , H01L 21/66 J

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