特許
J-GLOBAL ID：200903042210174214
ウエハ洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208767
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045577
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】高温の薬液の廃棄時、薬液を速やかに冷却することができ、廃棄薬液量を増加させることがなく、冷却タンクのような付加的な設備を必要としない、ウエハ洗浄装置を提供する。【構成】高温の薬液を使用してウエハを洗浄するウエハ洗浄装置は、薬液を循環する薬液循環配管経路内に薬液冷却装置を具備する。
請求項（抜粋）：
高温の薬液を使用してウエハを洗浄するウエハ洗浄装置であって、薬液を循環する薬液循環配管経路に薬液冷却装置を具備したことを特徴とするウエハ洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
