特許
J-GLOBAL ID：200903042213607162
ガスセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩入 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-183180
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003310
出願日： 1992年06月16日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 経時安定性の高い、SnO2系薄膜ガスセンサを提供する。【構成】 SnO2薄膜に、W酸化物,Mo酸化物,V酸化物のいずれかを、添加物の金属元素とSnとの原子比で0.1〜40%添加する。
請求項（抜粋）：
SnO2薄膜の抵抗値を用いたガスセンサにおいて、前記のSnO2薄膜には、W,Mo,Vからなる群の少なくとも一員の元素の酸化物を、Sn原子に対する原子比で0.1〜40%添加したことを特徴とするガスセンサ。
引用特許：
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