特許
J-GLOBAL ID：200903042216057937
イオン照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-153011
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320508
出願日： 1996年05月23日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 フィラメントから放出される熱電子のファラデーカップに対するエネルギーおよびリフレクタ電極から放出される二次電子のファラデーカップに対するエネルギーを小さくして、基板の負帯電を小さく抑制する。【解決手段】 プラズマ生成容器14a内で作ったプラズマ24を、連通筒60内を通して、かつコイル36による磁束Bでガイドして、ファラデーカップ8内に導く。ファラデーカップ8内にはリフレクタ電極46を設けている。アーク電源42の負極をフィラメント電源22の負極に接続している。リフレクタ電極46をフィラメント電源22の正極に接続している。フィラメント電源22の負極とファラデーカップ8間に前者を負極側にしてエネルギー設定電源62を接続し、この電源の出力電圧を10V以下にしている。
請求項（抜粋）：
基板を保持するホルダと、このホルダの上流側に設けられていて二次電子のアースへの逃げを防止する筒状のファラデーカップとを備え、このファラデーカップ内を通してイオンビームをホルダ上の基板に照射して当該基板に処理を施すイオン照射装置において、前記ファラデーカップの壁面の一部に設けられた孔と、この孔の外側近傍に設けられていて内部にガスが導入されかつファラデーカップ側に小孔を有するプラズマ生成容器と、このプラズマ生成容器内に設けられたフィラメントと、前記ファラデーカップ内の壁面付近にそれから電気的に絶縁して設けられていて前記ファラデーカップの孔に対応する位置に孔を有する筒状のリフレクタ電極と、このリフレクタ電極の孔の部分と前記プラズマ生成容器の小孔の周りとを連通させる連通筒と、前記プラズマ生成容器内からこの連通筒内にかけての領域に、それらの軸方向に沿う磁束を発生させる磁束発生手段と、前記フィラメントの両端部に接続された直流のフィラメント電源と、このフィラメント電源の負極と前記プラズマ生成容器との間に前者を負極側にして接続された直流のアーク電源と、前記フィラメント電源の負極と前記ファラデーカップとの間に前者を負極側にして接続された直流のエネルギー設定電源とを備え、更に前記リフレクタ電極を前記フィラメント電源の正極に接続し、かつ前記エネルギー設定電源の出力電圧を10V以下にしていることを特徴とするイオン照射装置。
IPC (3件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01L 21/265
H01J 37/317 Z
, C23C 14/48 C
, H01L 21/265 N
