特許
J-GLOBAL ID:200903042225328412

メカニカル格子デバイス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 吉田 研二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-353570
公開番号(公開出願番号):特開2000-180737
出願日: 1999年12月13日
公開日(公表日): 2000年06月30日
要約:
【要約】【課題】 回折効率を改良するメカニカル格子デバイスを提供する。【解決手段】 メカニカル格子デバイス100が、表面を有するベース50上に構成される。前記ベース50の上に、上表面を有するスペーサ層65が備えられ、前記スペーサ層65に、長手のチャンネル67が形成され、前記チャンネル67は、相対する第一側壁67aと第二側壁67bと底面67cとを備える。複数の間隔を置いて離された変形可能なリボン素子72a,72bが互いに平行に配置される。前記変形可能なリボン素子72a,72bは、2より大きいN個の要素からなるグループに纏められる。前記格子デバイス100が作動される時、前記グループ各々は離散した段々レベルのパターンを形成する。この際、前記パターンは2より大きいn段のレベルのパターンを有する。
請求項(抜粋):
メカニカル格子デバイスであって、表面を有するベースを備え、上表面を有するスペーサ層が前記ベースの上に設けられ、長手のチャンネルが前記スペーサ層に形成され、前記チャンネルは互いに相対する第一及び第二の側壁と底面とを有し、離間し変形可能な複数のリボン要素であって、前記複数のリボン要素は、互いに平行に配置されて前記チャンネルを橋架し、上面と下面を規定するとともに前記チャンネルの両側で前記スペーサ層の上表面に固定され、2より大きいN個の要素にグループ化され、前記グループ各々が、作動状態で離散レベルから成るパターンを形成し、前記パターンは、2より大きいn段のレベルを有し、ブレーズ格子に近似するリボン高さの周期的変化波形を示すことを特徴とするメカニカル格子デバイス。
IPC (2件):
G02B 26/08 ,  G02B 5/18
FI (2件):
G02B 26/08 A ,  G02B 5/18
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 光偏向装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-062364   出願人:松下電器産業株式会社
  • カラー画像読取装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-193124   出願人:キヤノン株式会社

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