射出瞳の環状照明のための入れ子式集光器を備える照明光学系

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：渡邊隆 , 志賀正武 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-573472
公開番号（公開出願番号）：特表2005-519459
出願日： 2003年01月20日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

本発明は、193nm以下、特に126nm未満、特に好ましくはEUV領域の波長用の、光源2001とフィールド面2030とを有する照明光学系であって、光源2001の光の一部を受光するための、軸線周りに回転対称に配置された少なくとも1つの反射鏡シェルを含む少なくとも1つの集光器2003を備え、それによって2020が環状に照明される照明光学系に関する。本発明は、光源2001の実像がフィールド面2030に対してデフォーカスされた面に形成されるように少なくとも1つの反射鏡シェルが形成され、それによってフィールド面2030が所定の範囲で広範囲に均一に照明されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

193nm以下、特に126nmより短い、特に好ましくはEUV領域の波長のための、光源(1)とフィールド面(30)とを有する照明光学系であって、 1.1 面法線に対して70 ゚より大きい入射角で前記光源(1)の光の一部を受光するための、一つの軸線(HA)周りに回転対称に設けられた少なくとも1つの椀状反射鏡(5.1、5.2、5.3、5.4、5.5)を有した少なくとも1つの集光器(3)を備え、 1.2 それによって光路内で前記集光器(3)の後方に配置された開口絞り面(20)が環状に照明されるように構成された照明光学系において、 1.4 倍率β>2で強く拡大した前記光源(1)の実像(7)が前記フィールド面(30)の近傍に形成されるように少なくとも1つの前記椀状反射鏡(5.1、5.2、5.3、5.4、5.5)が形成されており、それによって前記フィールド面(30)が広い範囲に及ぶ所定領域内で均一に照明されるように構成されている 1.3 ことを特徴とする照明光学系。

IPC (5件)：

H01L21/027 , G02B19/00 , G03F7/20 , G21K1/06 , G21K5/02

FI (6件)：

H01L21/30 531S , G02B19/00 , G03F7/20 503 , G21K1/06 A , G21K5/02 X , H01L21/30 527

Fターム (15件)：

2H052BA02 , 2H052BA03 , 2H052BA06 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 2H097BA10 , 2H097CA03 , 2H097CA06 , 2H097CA15 , 2H097GB00 , 5F046CA08 , 5F046CB03 , 5F046CB22 , 5F046GB01 , 5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第5,737,137号明細書

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