特許

J-GLOBAL ID：200903042251551987

ネガ型感光性組成物及び画像形成方法

発明者： 亀山 泰弘
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-270963
公開番号（公開出願番号）：特開2004-109409
出願日： 2002年09月18日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】微細電子回路等の形成に有用で、感度、解像度、パターン形状の良好なネガ画像を形成するためのネガ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光酸発生剤、及び(C)酸性条件下でアルカリ可溶性樹脂に作用する架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該アルカリ可溶性樹脂(A)が、重量平均分子量1,000以上8,000以下のアルカリ可溶性樹脂(A-1)と、重量平均分子量10,000以上のアルカリ可溶性樹脂(A-2)とを含むことを特徴とするネガ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光酸発生剤、及び(C)酸性条件下でアルカリ可溶性樹脂に作用する架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該アルカリ可溶性樹脂(A)が、重量平均分子量1,000以上8,000以下のアルカリ可溶性樹脂(A-1)と、重量平均分子量10,000以上のアルカリ可溶性樹脂(A-2)との混合物であることを特徴とするネガ型感光性組成物。

IPC (2件)：

G03F7/038 ,  H01L21/027

FI (2件)：

G03F7/038 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (13件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BJ00 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB42 ,  2H025CB55 ,  2H025FA17