特許

J-GLOBAL ID：200903042258250150

薄膜キャパシタ

発明者： 水澤 由美 ,  中村 敦子 ,  斉藤 雅之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-212243
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078283
出願日： 1994年09月06日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】プロセスを複雑にすること無く小型・大容量の薄膜キャパシタを提供することを目的とする。【構成】金属箔体1と、金属箔体1上に成膜された無機誘電体薄膜2と、この無機誘電体薄膜2上に形成された金属体3とを具備することを特徴とする薄膜キャパシタ。

請求項（抜粋）：

金属箔体と、金属箔体上に成膜された無機誘電体薄膜と、前記無機誘電体薄膜上に形成された金属体とを具備することを特徴とする薄膜キャパシタ。