特許

J-GLOBAL ID：200903042262320405

ステ-ジ装置およびその駆動方法

発明者： ダグラス シー.ワトソン
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057108
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329962
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ステージとベース構造との間に設けたステージ駆動機構によるステージ駆動時に反作用として生ずるベースへの擾乱を抑止する。【解決手段】 ベース18上で動くステージ10を含むステージ装置において、ベースは基礎22の上に架せられていて、該ステージが動いているときに該ステージの直線加速により引き起こされる該ベースの乱れを最小限にする。該ステージの重心を通る反作用相殺力が加えられるので、相殺されない反作用モーメントは無く、ベースの安定性は乱されない。正味の反作用相殺力は、該ステージの重心と一直線に該ステージの移動方向に平行に加わる。或いは、該ベースはステージ用リニア型アクチュエータ56と基礎との間の堅くて撓まないリンク機構によって反作用力から絶縁される。

請求項（抜粋）：

ベースと、該ベースによって第1方向に移動可能に支持されたステージと、前記ベース上で前記ステージを駆動する第1アクチュエータと、前記ステージの重心を通り、前記第1方向と略平行な方向に作用する補償力を前記ベースに加える補償力印加手段と、を備え、前記補償力印加手段は、前記第1アクチュエータが前記ステージを駆動した際に前記ベースに作用する力を補償するように前記補償力を設定することを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00

FI (5件)：

H01L 21/30 515 F ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B