特許

J-GLOBAL ID：200903042263520360

走査型露光装置

発明者： 伊藤 浩司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-017092
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186075
出願日： 1996年01月05日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】 走査型露光装置において、整定のための不要な走行を排除してスループットを向上させる。【解決手段】 原版7のパターンをスリット状の照明光を用いて基板8上に露光する露光手段6と、この露光手段の露光動作をオン/オフする露光制御手段9と、基板上の次に走査露光すべき露光位置および走査速度を指令する指令値生成手段1と、この指令に基づいて原板の目標位置および基板の目標位置を生成する目標位置生成手段2,3と、これらの目標位置に基づいて原板および基板の位置を制御する位置制御手段4,5とを備え、各露光位置における露光に際しては原版および基板間の同期誤差が整定した所定の走査速度に達した後に露光手段の露光動作をオンする走査型露光装置において、目標位置生成手段は、予め得た基板上の各露光位置および走査速度に対応する原版および基板間の同期誤差の整定時間を記憶したテーブルを参照して各露光位置における整定時間を得、この整定時間に基づいて各露光位置における露光に際しての原版および基板の目標位置を生成するもの。

請求項（抜粋）：

原版のパターンをスリット状の照明光を用いて基板上に露光する露光手段と、この露光手段の露光動作をオン/オフする露光制御手段と、前記基板上の次に走査露光すべき露光位置および走査速度を指令する指令値生成手段と、この指令に基づいて前記原板の目標位置および前記基板の目標位置を生成する目標位置生成手段と、これらの目標位置に基づいて前記原板および基板の位置を制御する位置制御手段とを備え、各露光位置における露光に際しては前記原版および基板間の同期誤差が整定した所定の走査速度に達した後に前記露光手段の露光動作をオンする走査型露光装置において、前記目標位置生成手段は、予め得た前記基板上の各露光位置および走査速度に対応する前記原版および基板間の同期誤差の整定時間を記憶したテーブルを参照して各露光位置における整定時間を得、この整定時間に基づいて各露光位置における露光に際しての前記原版および基板の目標位置を生成するものであることを特徴とする走査型露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505

FI (3件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 516 D

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-142952   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (1件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-142952   出願人：株式会社ニコン