特許

J-GLOBAL ID：200903042263681720

レーザ顕微鏡

発明者： 荻野 克美
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-310699
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133219
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 CCD素子の画素サイズ又は光スポットの大きさを、対象となる微細周期構造の1つのエッジに対して常に少なくとも4画素程度含まれる大きさにして所望の測長精度を確保できるレーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料23に形成された微細周期構造を所定のスポット29の光で2次元走査する2次元スキャナユニット25と、ピンホール28aを介して捕らえた試料23の像の光強度に応じた電気信号を出力する光検出器30と、微細周期構造のエッジを光検出器30から出力される電気信号に基く画像処理により検出し、画像を構成する画素を単位として微細周期構造の測長を行う光画像システム40とを備えるレーザ顕微鏡において、スキャナ制御部35は、試料23上を走査する光のスポット29の径を、エッジに対して、少なくとも4画素以上割り当てることができる大きさとするように2次元スキャナユニット25を制御する。

請求項（抜粋）：

試料に形成された微細周期構造を所定のスポット径の光で2次元走査する走査手段と、ピンホールを介して捕らえた前記試料の像の光強度に応じた電気信号を出力する検出手段と、前記微細周期構造のエッジを前記検出手段から出力される電気信号に基く画像処理により検出し、画像を構成する画素を単位として前記微細周期構造の測長を行う画像処理手段とを備えるレーザ顕微鏡において、前記試料上を走査する光のスポット径を、前記エッジに対して、少なくとも4画素以上割り当てることができる大きさとするように前記走査手段を制御する制御手段を備えていることを特徴とするレーザ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/36 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 11/00 H ,  G01B 11/00 C ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/36 ,  H01L 21/66 J

Fターム (42件)：

2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA56 ,  2F065BB13 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL09 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065MM28 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2H052AA08 ,  2H052AB05 ,  2H052AB25 ,  2H052AC02 ,  2H052AC04 ,  2H052AC12 ,  2H052AC15 ,  2H052AC22 ,  2H052AC26 ,  2H052AC34 ,  2H052AF03 ,  2H052AF13 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25 ,  4M106AA01 ,  4M106BA07 ,  4M106BA20 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB18 ,  4M106DB19