特許
J-GLOBAL ID：200903042269338520
微小機械素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323415
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148644
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 固定部と可動部間の対向面積を広く、両者間のギャップは小さく形成可能で、性能及び信頼性の向上を図ることが可能な微小機械素子を得る。【解決手段】 固定部11上に組成の異なる2種類以上の無電解めっき膜として犠牲層12及び可動部13を積層する工程と、無電解めっき膜の少なくとも1種類以上で構成される可動部13を残し、犠牲層12を選択性エッチング処理により除去して固定部11と可動部13とを分離する工程とを備える構成である。
請求項（抜粋）：
組成の異なる2種類以上の無電解めっき膜を積層する工程と、該無電解めっき膜の少なくとも1種類以上を残し、それ以外の無電解めっき膜を犠牲層として選択性エッチング処理により除去して固定部と可動部とを分離する工程とを備えることを特徴とする微小機械素子の製造方法。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, C23F 1/00
, C23F 4/00
G01P 15/125
, C23F 1/00 Z
, C23F 4/00 A
