特許
J-GLOBAL ID：200903042279628195
洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-305527
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148460
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 気体吹き出しパイプから微細な粒径の気泡を均一に噴出、分散させて、洗浄効果を向上させる洗浄装置を提供する。【構成】 本洗浄装置10は、洗浄液を収容する洗浄槽12と、洗浄槽の底部に配置された石英製気体吹き出しパイプ14と、支持体16とを備えている。気体吹き出しパイプには、斜め下方に向け突出する気体吹き出しノズル20が離隔して設けられ、ノズル先端には石英粒の集合体を焼結してなる石英焼結体22が融着されている。複数本の気体吹き出しパイプが、気体吹き出しノズルを均一な分布で配列するように、洗浄槽の底板より僅か上方で、相互に離隔して平行に石英製の支持体に支持されている。石英焼結体を介して気体を吹き出すことにより、気体が微細な均一の粒径の気泡となって洗浄液中を上昇して被洗浄体に達し、被洗浄体付近の洗浄液を激しく流動させる共に気泡が被洗浄体に万遍なく衝突するので、従来の洗浄装置に比べて洗浄効果が大幅に向上する。
請求項（抜粋）：
洗浄液を収容する洗浄槽と、洗浄槽の底部に配置された非腐食性材料製気体吹き出しパイプとを備え、気体吹き出しパイプには気体を吹き出すための細孔が設けられ、かつその細孔には上記非腐食性材料の粒子の集合体を焼結してなる焼結体が融着されていることを特徴とする洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/10
