特許
J-GLOBAL ID：200903042280380806

圧電素子の製造方法及び圧電素子、電歪アクチュエータの製造方法及び電歪アクチュエータ、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド

発明者：
張 俊華

張 俊華 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 津久井 照保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-199180
公開番号（公開出願番号）：特開2003-347622
出願日： 2002年07月08日
公開日（公表日）： 2003年12月05日
要約：
【要約】【課題】 多層構造の圧電素子の製造効率を高めると共に、所望の圧電特性を付与する。【解決手段】 圧力室12とは反対側の振動板表面に形成された圧電素子は、互いに積層された上層圧電体34及び下層圧電体35からなる圧電体層31と、この圧電体層31に付与される電場を発生する電極層33,36,37とを備えた多層構造とする。共通上電極36及び共通下電極37をそれぞれ、基電極42,44とこれらの基電極から各圧電体層31に延設された複数の枝電極43,45とからなる櫛歯状電極によって構成する。分極処理時において、上層圧電体34と下層圧電体35を個別に分極すると共に、その分極条件も個々に設定する。
請求項（抜粋）：
圧電材料と電極材料とを積層して分極前圧電素子を形成する素子形成工程と、この分極前圧電素子に分極電圧を供給して分極する分極工程とを経て製造される圧電素子の製造方法において、前記素子形成工程は、支持部材の表面に共通下電極を形成する第1工程と、共通下電極に重ねて下層圧電体を形成する第2工程と、共通下電極とは反対側の下層圧電体の表面に駆動電極を形成する第3工程と、駆動電極を覆うように上層圧電体を形成する第4工程と、駆動電極とは反対側の上層圧電体の表面に共通上電極を形成する第5工程とを含み、前記分極工程は、前記共通上電極と駆動電極の間、及び、共通下電極と駆動電極との間に分極電圧を供給することで、上層圧電体と下層圧電体とを分極することを特徴とする圧電素子の製造方法。
IPC (9件)：
H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  B81B 3/00 ,  B81C 3/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  B05B 1/14
FI (9件)：
B81B 3/00 ,  B81C 3/00 ,  B05B 1/14 Z ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 D ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (15件)：
2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG48 ,  2C057AG85 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP16 ,  2C057BA14 ,  4F033BA03 ,  4F033CA04 ,  4F033DA02 ,  4F033EA01 ,  4F033JA06 ,  4F033JA07 ,  4F033LA13
引用特許：
審査官引用 (4件)
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