フッ化物の酸化物転換方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉岡宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-050931
公開番号（公開出願番号）：特開2002-255558
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】フッ化物から酸化物を製造する工程において、発生するF2やHFの回収と再利用を容易にし、装置内の腐食を低減する酸化物製造方法を提供する。【解決手段】フッ化物を酸化物に転換する際の酸素の供給源としてオゾンなどから発生する原子状酸素を使用する。酸化物に転換する際にH2による還元が必要な場合は、原子状酸素供給工程とH2供給工程の間に不活性ガス供給工程を挿入することで、酸素とH2の反応によるH2Oの生成を回避する。工程内への水の混入を回避することにより乾燥したF2やHFを回収できるため、精製や再利用を簡便な方法で行なうことができる。また、フッ化水素酸の生成を回避できるため、装置内の腐食を低減することができる。

請求項（抜粋）：

フッ化物に、酸素の供給源となる物質として、水素以外の元素により構成される酸素供給源物質を作用させて酸化物に転換することを特徴とするフッ化物の酸化物転換方法。

IPC (3件)：

C01G 43/025 ZAB , C01G 56/00 , G21C 19/44

FI (4件)：

C01G 43/025 ZAB Z , C01G 56/00 , G21C 19/44 F , G21C 19/44 G

Fターム (5件)：

4G048AA02 , 4G048AB01 , 4G048AC08 , 4G048AE02 , 4G048AE06

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