ウエットエッチング装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-237615
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054475
出願日： 1997年07月30日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】多機能の枚葉式ウエットエッチング装置の機構を簡単化し、各薬液回収における混合を少なくする。これによって小型で故障しにくい装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の基本とするエッチング装置は試料の回転機構4と薬液供給用ノズル5を上下に移動させずにエッチング室分割機構部を可動板7a,7bの開閉によって構成し、これに対応して専用に薬液を回収する。本発明の他の基本とするエッチング装置はエッチング処理後の薬液を重力、および減圧、加圧のいずれかを利用して選択的に専用の回収口で薬液を回収する。【効果】多機能のウエットエッチング装置を簡単な機構により構成し小型化と低価格化できるようになった。本装置のエッチング液回収方式は構造が簡単なうえ、エッチング液が混ざりにくいので、故障が少なく、循環して使う薬液と装置の保守が容易になった。

請求項（抜粋）：

試料表面を薬液によって加工するウエットエッチング装置において、2種類以上の薬液および薬液と洗浄水が各々の薬液の回収において混合しないように可動板によって回収用区分け領域部を構成したことを特徴としたウエットエッチング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/306 , C23F 1/08 , C23F 1/46

FI (3件)：

H01L 21/306 J , C23F 1/08 , C23F 1/46

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