光重合性の熱硬化樹脂組成物 | 特許情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター

【要約】(A)分子中に少なくとも1個のカルボン酸基を含むオリゴマー又はポリマー;(B)式(I)、(II)、(III)、(IV)、(V)又は(VI)(式中、R1は、とりわけフェニル又はアルキルであり;R2は、例えばC2-C12アルカノイル(これは、非置換又は置換である)又はベンゾイルであり;R3、R4、R5、R6及びR7は、互いに独立して、例えば水素、C1-C12アルキル、シクロヘキシル又はフェニル(これは、非置換又は置換である)、あるいはベンジル、ベンゾイル、C2-C12アルカノイル又はフェノキシカルボニルであり;R8は、例えば水素又はC1-C12アルキル、あるいは基(B)であり;Mは、例えばC1-C12アルキレン、シクロヘキシレン又はフェニレンであり;M1は、とりわけ直接結合又はC1-C12アルキレンオキシであり;そしてArは、5-又は6-員の芳香複素環である)の少なくとも1種の化合物;(C)光重合性の、反応性又は非反応性希釈剤;及び(D)熱硬化成分として、分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含むエポキシ化合物を含む組成物は、アルカリ現像性のレジストとして高度に適切である。

(A)分子中に少なくとも1個のカルボン酸を含む、オリゴマー又はポリマー;(B)式(I)、(II)、(III)、(IV)、(V)又は(VI):【化1】(式中、 R1は、フェニル(これは、非置換又は1個以上の、C1-C6アルキル、フェニル、ハロゲン、OR8、SR9若しくはNR10R11により置換されている)であるか、あるいはR1は、C1-C20アルキル、C2-C20アルケニル、C2-C20アルキニル又はC2-C20アルキル(場合により、1個以上の-O-により中断及び/又は場合により、1個以上のヒドロキシル基により置換されている)であるか、あるいはR1は、C2-C20アルカノイル又はベンゾイル(これは非置換又は1個以上の、C1-C6アルキル、フェニル、OR8、SR9若しくはNR10R11で置換されている)であるか、あるいはR1は、C2-C12アルコキシカルボニル(場合により、1個以上の-O-により中断及び/又は場合により、1個以上のヒドロキシル基により置換されている)であるか、あるいはR1は、フェノキシカルボニル(これは、非置換又はC1-C6アルキル、ハロゲン、フェニル、OR8若しくはNR10R11により置換されている)であるか、あるいはR1は、-CONR10R11、CN、NO2、C1-C4ハロアルキル、S(O)mC1-C6アルキル、非置換若しくはC1-C12アルキル-置換S(O)m-C6-C12アリール、SO2O-C1-C6アルキル、SO2O-C6-C10アリール、又はジフェニル-ホスフィノイルであるか、あるいはR1とR3又はR1とR7は、一緒になって、1個以上のCO-及び/又はオキシム-基を含む、5又は6員環を形成してもよく; mは、1又は2であり; R2は、C2-C12アルカノイル(これは、非置換又は1個以上の、ハロゲン若しくはCNで置換されている)であるか、あるいはR2は、C3-C12アルケノイル、又はベンゾイル(これは、非置換又は1個以上の、C1-C6アルキル、フェニル、ハロゲン、CN、OR8、SR9若しくはNR10R11で置換されている)であるか、あるいはR2は、C2-C12アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニル(これは、非置換又はC1-C6アルキル若しくはハロゲンにより置換されている)であり; R3、R4、R5、R6及びR7は、互いに独立して、水素、ハロゲン、C1-C12アルキル、シクロペンチル、シクロヘキシル又はフェニル(これは、非置換又は1個以上の、OR8、SR9若しくはNR10R11により置換されている)であるか、あるいはR3、R4、R5、R6及びR7は、ベンジル、ベンゾイル、C2-C12アルカノイル、C2-C12アルコキシカルボニル(場合により、1個以上の-O-により中断及び/又は場合により、1個以上のヒドロキシル基により置換されている)であるか、あるいはR3、R4、R5、R6及びR7は、フェノキシカルボニル又は基OR8、SR9、SOR9、SO2R9、NO2,CN,CONR10R11若しくはNR10R11であり、ここで、置換基OR8、SR9及びNR10R11 は、フェニル環上の別の置換基又はフェニル環上の炭素原子の一つと、基R8、R9、R10及び/又はR11を介して、5-〜6-員環を形成してもよく; R8は、水素、C1-C12アルキル又はC2-C6アルキル(これは、-OH、-SH、-CN、C1-C4アルコキシ、C3-C6アルケンオキシ、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2COO(C1-C4アルキル)、-OCO-C1-C4アルキル、-OCO-フェニル、COOH又はCOO(C1-C4アルキル)により置換されている)であるか、あるいはR8は、C2-C6アルキル(これは、1個以上の-O-により中断されている)であるか、あるいはR8は、-(CH2CH2O)nH、C2-C8アルカノイル、C2-C12アルケニル、C3-C6アルケノイル、シクロヘキシル又はフェニル(これは、非置換又はハロゲン、C1-C12アルキル若しくはC1-C4アルコキシで置換されている)であるか、あるいはR8は、フェニル-C1-C3アルキル又はSi(C1-C8アルキル)r(フェニル)3-rであるか、あるいはR8は、下記式:【化2】の基であり; nは、1〜20であり; rは、1、2又は3であり; R9は、水素、C1-C12アルキル、C2-C12アルケニル、シクロヘキシル、C2-C6アルキル(これは、-OH、-SH、-CN、C1-C4アルコキシ、C3-C6アルケンオキシ、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2COO(C1-C4アルキル)、-OCO-C1-C4アルキル、-OCO-フェニル、COOH又はCOO(C1-C4アルキル)で置換されている)であるか、あるいはR9は、C2-C12アルキル(これは、1個以上の、-O-又は-S-により中断されている)であるか、あるいはR9は、フェニル(これは、非置換又はハロゲン、C1-C12アルキル若しくはC1-C4アルコキシにより置換されている)であるか、あるいはR9は、フェニル-C1-C3アルキル又は下記式:【化3】の基であり; R10及びR11は、それぞれ他と独立して、水素、C1-C12アルキル、C2-C4ヒドロキシアルキル、C2-C10アルコキシアルキル、C2-C5アルケニル、C5-C12シクロアルキル、フェニル-C1-C3アルキル、フェニル(これは、非置換又はC1-C12アルキル若しくはC1-C4アルコキシにより置換されている)であるか、あるいはR10及びR11は、C2-C3アルカノイル、C3-C6アルケノイル又はベンゾイルであるか、あるいはR10とR11は、一緒になって、C2-C6アルキレン(場合により、-O-又は-NR8-により中断されている)であるか、あるいはR10とR11は、一緒になって、C2-C6アルキレン(これは、ヒドロキシル、C1-C4アルコキシ、C2-C4アルカノイルオキシ又はベンゾイルオキシにより置換されていてもよい)であるか、あるいはR10が水素であるとき、R11は、下記式:【化4】の基であってよく; R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18及びR19は、互いに独立して、水素、ハロゲン、C1-C12アルキル、シクロペンチル、シクロヘキシル又はフェニル(これは、非置換又は1個以上の、OR8、SR9若しくはNR10R11により置換されている)であるか、あるいはR12、R13、R14、R15、R16、R17、R18及びR19は、ベンジル、ベンゾイル、C2-C12アルカノイル、C2-C12アルコキシカルボニル(場合により、1個以上の-O-により中断及び/又は場合により1個以上のヒドロキシル基により置換されている)であるか、あるいはR12、R13、R14、R15、R16、R17、R18及びR19は、フェノキシカルボニル又は基OR8、SR9、SOR9、SO2R9、NO2、CN、CONR10R11若しくはNR10R11であり、ここで、置換基OR8、SR9及びNR10R11は、フェニル環上の別の置換基又はフェニル環上の炭素原子の一つと、基R8、R9、R10及び/又はR11を介して、5-〜6-員環を形成してもよく、あるいはR15とR16は、一緒になって、エチレン又はエチニレンであり; tは、0又は1であり; Mは、C1-C12アルキレン、シクロヘキシレン、フェニレン、-COO-(C2-C12アルキレン)-OOC-、-COO-(CH2CH2O)n-OC-又は-CO-(C2-C12-アルキレン)-CO-であり; M1は、直接結合又はC1-C12アルキレンオキシ(場合により、1〜5個の-O-、-S-及び/又は-NR10-により中断されている)であり; M2は、直接結合又はC1-C12アルキレン-S-(場合により、1〜5個の-O-、-S-及び/又は-NR10-により中断されている)であり; M3は、直接結合、ピペラジノ基又はC1-C12アルキレン-NR10-(場合により、1〜5個の-O-、-S-及び/又は-NR10-により中断されている)であり; M4は、直接結合、-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-CO-、-CH2-、-NR10-又は下記式:【化5】の基であり; Arは、5-又は6-員の芳香族複素環(これは、非置換又は1個以上の、C1-C6アルキル、フェニル、ハロゲン、OR8、SR9、NR10R11、CN、C2-C6アルカノイル若しくはベンゾイルにより置換されている)であるが;ここで1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-o-ベンゾイルオキシム及び1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-o-エトキシカルボニルオキシムは除く)で示される化合物の少なくとも1種;(C)光重合性の、反応性又は非反応性希釈剤;及び(D)熱硬化成分として、分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含むエポキシ化合物を含む、光感受性熱硬化液体組成物。

G03F 7/038 , C08F 2/44 , C08F 2/48 , C08G 59/42 , G03F 7/027 515 , G03F 7/031 , H05K 3/28

G03F 7/038 , C08F 2/44 Z , C08F 2/48 , C08G 59/42 , G03F 7/027 515 , G03F 7/031 , H05K 3/28 D

2H025AA00 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC74 , 2H025BC85 , 2H025CA01 , 2H025CA07 , 2H025CC08 , 2H025CC11 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J011AA05 , 4J011PA86 , 4J011PB19 , 4J011QA03 , 4J011QA06 , 4J011QA12 , 4J011QA13 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QB19 , 4J011QB22 , 4J011RA10 , 4J011SA65 , 4J011SA78 , 4J011TA01 , 4J011TA03 , 4J011TA06 , 4J011TA07 , 4J011UA01 , 4J011UA06 , 4J011UA08 , 4J011VA01 , 4J011VA02 , 4J011WA01 , 4J036AA05 , 4J036AD07 , 4J036AD08 , 4J036AD11 , 4J036AD21 , 4J036AE07 , 4J036AF06 , 4J036AF08 , 4J036CA21 , 4J036DC11 , 4J036HA02 , 4J036JA09 , 4J036KA01 , 5E314AA27 , 5E314AA32 , 5E314AA42 , 5E314AA45 , 5E314AA47 , 5E314BB02 , 5E314BB11 , 5E314BB12 , 5E314CC01 , 5E314DD06 , 5E314FF01 , 5E314GG24