位置合せ方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-046874
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218714
出願日： 1996年02月09日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】位置の高次に依存する誤差要因を補正することができる位置合せ方法および装置を提供する。【解決手段】対象物上の、設計上の位置が定められた複数個所の位置合せ対象点のうちのいくつかについて設計位置との位置ずれ量を計測する位置計測工程S3と、複数個所の設計位置と位置ずれ量との関係を近似する近似式にいくつかの対象点の設計位置および位置ずれ量をあてはめ、対象点のそれぞれについてその設計位置に基づいて位置ずれ量を算出するための補正式を得る補正式作成工程S5と、得られた補正式に従い、位置合せ対象点をそれぞれ位置合せする位置合せ工程S6とを有する位置合せ方法において、補正式は、設計位置の2次以上の項を含む。

請求項（抜粋）：

対象物上の、設計上の位置が定められた複数個所の位置合せ対象点のうちのいくつかについて設計位置との位置ずれ量を計測する位置計測工程と、前記複数個所の設計位置と位置ずれ量との関係を近似する近似式に前記いくつかの対象点の設計位置および位置ずれ量をあてはめ、前記対象点のそれぞれについてその設計位置に基づいて位置ずれ量を算出するための補正式を得る補正式作成工程と、得られた補正式に従い、前記位置合せ対象点をそれぞれ位置合せする位置合せ工程とを有する位置合せ方法において、前記補正式は、設計位置の2次以上の項を含むことを特徴とする位置合せ方法。

IPC (4件)：

G05D 3/12 , G01B 11/00 , G03F 9/00 , H01L 21/027

FI (4件)：

G05D 3/12 T , G01B 11/00 C , G03F 9/00 H , H01L 21/30 525 W

引用特許：

審査官引用 (5件)

位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-047493 出願人：株式会社ニコン
位置合わせ方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-059330 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-054103

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