特許
J-GLOBAL ID：200903042301311486
半導体マスクパターン検証支援装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-250419
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074908
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 疑似エラーと認識されたエラーデータを自動的に除去し、真のエラーデータだけを検索する半導体マスクパターン検証支援装置を得る。【構成】 検索対象のエラーデータに対応した疑似エラーデータを抽出し、それをエラー検索対象のエラーデータと比較して、その疑似エラーデータに該当したエラーデータを消去し、真のエラーデータのみによるエラーデータを検索部に出力するとともに、マスクパターンデータ修正の課程で新規に疑似エラーと認識されたエラーデータを、疑似エラーデータ格納部に格納する疑似エラーデータ処理部を設けた。【効果】 マスクパターン検証結果の確認、およびマスクパターンデータの修正の作業効率が向上する。
請求項（抜粋）：
マスクパターンの幅や間隔などが検証されたエラーデータが格納されたエラーデータ格納部より、エラー検索の対象となるエラーデータを抽出するエラーデータ抽出部と、前記エラーデータ抽出部にて抽出された前記エラーデータに対してエラー箇所の検索を行う検索部と、前記検索部にて検索されたエラー箇所の確認・修正を行い、エラーの種類を識別する識別部とを備えた半導体マスクパターン検証支援装置において、前記エラーデータ中で疑似エラーと判断されたものを疑似エラーデータとして格納している疑似エラーデータ格納部より、前記エラー検索の対象となるエラーデータに対応した疑似エラーデータを抽出する疑似エラーデータ抽出部と、前記エラーデータ抽出部の抽出したエラーデータと前記疑似エラーデータ抽出部の抽出した疑似エラーデータの比較を行う比較部と、前記比較部による比較結果に基づいて前記エラーデータ中の前記疑似エラーデータに該当するものを消去する疑似エラー箇所消去部と、前記疑似エラー箇所消去部にて疑似エラーデータが除去された真のエラーデータのみでエラーデータを作成し前記検索部に送出するエラーデータ作成部と、前記識別部による識別の結果、新規に疑似エラーと認識された場合に、当該エラーデータを疑似エラーデータとして前記疑似エラーデータ格納部に格納する疑似エラーデータ更新部を有する疑似エラーデータ処理部を設けたことを特徴とする半導体マスクパターン検証支援装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G06F 15/60 370
, H01L 21/82
, G03F 1/08
