X線検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：一色健輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-044644
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241368
出願日： 1999年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】検査対象の欠陥をより確実に検査することができるX線検査装置を提供する。【解決手段】搬送コンベヤ12の検査位置には、製品10に側方からX線を照射するX線照射部16が設けられ、搬送コンベヤ12の検査位置の側方には、X線照射部16からのX線による製品10の透過像を撮像するX線撮像部20が設けられている。画像処理部28は、X線撮像部18、20により撮像された製品10の画像を処理して検査を行う。X線照射部16とX線撮影部20は移動機構30、32により上下に移動することができる。これにより、撮影方向を自在に変更することができ、検査対象に応じて適切な方向からの透過像を得ることができる。

請求項（抜粋）：

検査対象が載置される載置部と、前記載置部に載置された前記検査対象に対してX線を照射するX線照射部と、前記X線照射部から照射されたX線により前記検査対象を撮影するX線撮影部と、前記載置部と前記X線照射部と前記X線撮影部との相対的な位置関係を変更することにより、前記X線撮影部による前記検査対象に対する撮影方向を変更する変更手段とを有することを特徴とするX線検査装置。

IPC (3件)：

G01N 23/10 , G01N 23/04 , G21K 5/10

FI (3件)：

G01N 23/10 , G01N 23/04 , G21K 5/10 C

Fターム (22件)：

2G001AA01 , 2G001AA10 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001DA03 , 2G001DA06 , 2G001DA09 , 2G001GA08 , 2G001GA13 , 2G001HA13 , 2G001JA09 , 2G001JA11 , 2G001JA15 , 2G001KA05 , 2G001LA01 , 2G001LA20 , 2G001PA01 , 2G001PA03 , 2G001PA11 , 2G001SA13

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