特許
J-GLOBAL ID：200903042313654346
集積光装置の作成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山元 俊仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-332230
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273438
出願日： 1992年11月19日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 集積光装置を作成しかつテストするための経済的で改良された方法を提供する。【構成】 個々の部品に分離する前に、ウエ-ハ上の複数の集積光部品の光出力ポ-トに対してファイバ・ピグテ-ルを位置合せ(アラインメント)しかつそれに付着させる。アライメント、測定およびテスト時における光学的接続を容易にするようにウエ-ハに対向した端部に多数のピグテ-ルが配列される。
請求項（抜粋）：
光出力ポ-トに付着された光ファイバ・ピグテ-ル手段を有する集積光装置を作成する方法であって、a)それぞれ少なくとも1つの光出力ポ-トを有する複数の光装置部品よりなる多ユニット構造物を作成し、b)前記光装置部品が一体に連結されている状態において、前記光装置部品のうちの複数のもののそれぞれにおける少なくとも1つの光出力ポ-トに対して光学的に連通した状態で少なくとも1つの光ファイバ・ピグテ-ル手段を付着し、c)前記多ユニット構造物を、光ファイバ・ピグテ-ル手段を付着された複数の個々の光装置部品に分離することよりなる集積光装置の作成方法。
IPC (3件)：
G02B 6/30
, G02B 6/12
, H01L 21/66
