特許
J-GLOBAL ID：200903042315028930
表面欠陥検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-301513
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145339
出願日： 1995年11月20日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、性質の異なる2種類の表面を有する検査対象を検査する際に、2種類の表面の欠陥の有無を同時に検査することができる表面欠陥検査方法を提供するものである。【解決手段】 塗工面11aおよび金属面11b、11cを有する感光体ドラム11の表面にCCDカメラ13から光を照射したとき、正反射光がCCDカメラ13に反射される正反射光受光角度よりも大きく、塗工面11aおよび金属面11b、11cから反射された光の光量が逆転する受光角度βにCCDカメラ13を配置し、このCCDカメラ13で受光した反射光に基づいて感光体ドラム13の欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
性質の異なる2種類の表面を有する検査対象に光源から一様に光を照射するとともに、該検査対象の表面からの反射光をラインセンサで受光し、該ラインセンサで受光された反射光に基づいて検査対象の欠陥を検出する表面欠陥検査方法であって、前記光源から検査対象に光を照射したとき、正反射光がラインセンサに反射される正反射光受光角度よりも大きく、性質の異なる表面から反射された光の光量が逆転する受光角度に1つのラインセンサを配置し、該ラインセンサで受光した反射光に基づいて検査対象の欠陥を検出するようにしたことを特徴とする表面欠陥検査方法。
IPC (4件)：
G01B 11/30
, G01N 21/88
, G03G 5/00 101
, H04N 7/18
G01B 11/30 A
, G01N 21/88 A
, G03G 5/00 101
, H04N 7/18 B
