特許
J-GLOBAL ID：200903042317680171
ガスレーザ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003310
公開番号（公開出願番号）：特開平8-191163
出願日： 1995年01月12日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】 この発明は放電の繰り返し動作を高くして高出力のレーザ光を得る場合に、主電極間でアーク放電が発生するのを防止できるようにしたガスレーザ装置を提供することにある。【構成】 ガスレーザ媒質が封入された気密容器11と、上記ガスレーザ媒質を上記気密容器内で所定方向に循環させる送風機12と、上記ガスレーザ媒質の循環方向に対して交差する方向に離間して設けられそれらの間の空間部に上記ガスレーザ媒質を放電励起するための主放電が点弧される一対の主電極14a、14bと、上記空間部においてガスレーザ媒質の流速分布が上記一対の主電極の離間方向においてほぼ同じになるよう調整する流速調整手段となる熱交換器15とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ガスレーザ媒質が封入された気密容器と、上記ガスレーザ媒質を上記気密容器内で所定方向に循環させる送風機と、上記ガスレーザ媒質の循環方向に対して交差する方向に離間して設けられそれらの間の空間部に上記ガスレーザ媒質を放電励起するための主放電が点弧される一対の主電極と、上記空間部においてガスレーザ媒質の流速分布が上記一対の主電極の離間方向においてほぼ同じになるよう調整する流速調整手段とを具備したことを特徴とするガスレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 Z
, H01S 3/04 G
