特許
J-GLOBAL ID:200903042318122881

角速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-318276
公開番号(公開出願番号):特開2003-121155
出願日: 2001年10月16日
公開日(公表日): 2003年04月23日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】コリオリ力を応用した水平横置型の圧電素子音さ型角速度センサでは、従来検出電圧の電圧変化を角速度の検出信号としていたため検出感度が低かった。本発明はこの問題点を解消して検出感度を改善し、薄型化を図ることのできる優れた角速度センサを提供する。【解決手段】柱状の駆動アーム部及び検出アーム部とこれらの一端を支持する台座部とを圧電材にて一体的に形成した音さ型振動子と、前記駆動アーム部に駆動信号を供給しアーム配列方向の屈曲振動を励振する駆動源と、前記屈曲振動を電気的信号として検出し駆動信号との位相差信号を出力する位相比較器とを備えたものであって、前記検出アーム部にアーム配列方向とアーム長手方向とに対して直交する方向を軸とする回転運動が加わったとき、前記位相差信号に基づき回転運動の回転方向と角速度とを検出する。
請求項(抜粋):
柱状の駆動アーム部及び検出アーム部とこれらの一端を支持する台座部とを圧電材にて一体的に形成した音さ型振動子と、前記駆動アーム部に駆動信号を供給し前記駆動アーム部にアーム配列方向の屈曲振動を励振する駆動源と、前記検出アーム部の屈曲振動を電気的信号として検出し前記駆動信号との位相差信号を出力する位相比較器とを備えたものであって、前記検出アーム部にアーム配列方向とアーム長手方向とに対して直交する方向を軸とする回転運動が加わったとき、前記位相差信号に基づいて前記回転運動の回転方向と角速度とを検出したことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Fターム (9件):
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB13 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13

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