特許
J-GLOBAL ID:200903042318930198
感光性樹脂組成物これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-308566
公開番号(公開出願番号):特開2004-144917
出願日: 2002年10月23日
公開日(公表日): 2004年05月20日
要約:
【課題】光感度、密着性、解像度、耐薬品性、機械強度、はく離特性、柔軟性及び、現像液に対する溶解又は分散性の優れる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(A)成分として、一般式(I)で表されるアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル及びその誘導体、【化1】(R1は水素原子又はメチル基を示し、R2は炭素数4〜36のアルキル基又は炭素数4〜36を有する長鎖置換基を表す)を含有してなる感光性樹脂組成物。【選択図】 なし。
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(A)成分として、一般式(I)で表されるアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル及びその誘導体、
IPC (6件):
G03F7/033
, C08F2/44
, C08F265/06
, G03F7/004
, H05K3/06
, H05K3/18
FI (6件):
G03F7/033
, C08F2/44 C
, C08F265/06
, G03F7/004 512
, H05K3/06 J
, H05K3/18 D
Fターム (86件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA06
, 2H025AA07
, 2H025AA08
, 2H025AA13
, 2H025AA14
, 2H025AB11
, 2H025AC01
, 2H025BC14
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025CA01
, 2H025CA20
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB43
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA40
, 2H025FA43
, 4J011AA05
, 4J011PA65
, 4J011PA69
, 4J011PA70
, 4J011PA85
, 4J011PA86
, 4J011PA96
, 4J011PC02
, 4J011QA03
, 4J011QA04
, 4J011QA07
, 4J011SA01
, 4J011SA22
, 4J011SA25
, 4J011SA26
, 4J011SA32
, 4J011SA34
, 4J011SA36
, 4J011SA43
, 4J011SA63
, 4J011SA78
, 4J011SA82
, 4J011SA83
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011VA10
, 4J011WA01
, 4J026AA17
, 4J026AA37
, 4J026AA55
, 4J026AB01
, 4J026AB04
, 4J026AB11
, 4J026AB28
, 4J026BA27
, 4J026BA29
, 4J026BA30
, 4J026DB02
, 4J026DB09
, 4J026DB15
, 4J026GA07
, 4J026GA08
, 5E339AB02
, 5E339BC02
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CE11
, 5E339CE14
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339CG04
, 5E339DD04
, 5E339GG01
, 5E343AA12
, 5E343BB24
, 5E343CC63
, 5E343DD32
, 5E343EE17
, 5E343ER12
, 5E343ER18
, 5E343GG03
引用特許: