特許

J-GLOBAL ID：200903042319771743

CO2センサ

発明者： 中川 隆洋
出願人/特許権者： 日本セラミック株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-131943
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160348
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 固体電解質上にCO2検知素子とヒータを形成したセンサにおいて基準電極上の絶縁膜を多孔質化することによりセンサ出力を安定化させる。【構成】 固体電解質2上に検知電極1、基準電極3を形成し、さらに基準電極上に多孔質絶縁層8を形成しさらにヒータ4を形成したCO2センサ。

請求項（抜粋）：

固体電解質の基準極面を含む一面もしくは複数の面に絶縁層を設け、その上にヒータを形成しているCO2センサにおいて、絶縁層を多孔質化することを特徴とするCO2センサ。

IPC (2件)：

G01N 27/416 ,  G01N 27/406

FI (2件)：

G01N 27/46 376 ,  G01N 27/58 Z