特許
J-GLOBAL ID：200903042320840473
走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡及びそれらを 用いた加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-046110
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241780
出願日： 1993年02月12日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 測定のダイナミックレンジが広く、且つ制御性を向上した静電駆動型走査型トンネル顕微鏡を提供する。【構成】 静電駆動用電極102、108が梁104のZ軸方向に絶縁スペ-サ-103、107を介して、梁104を挟むようにして設けられている構成を有する走査型トンネル顕微鏡。
請求項（抜粋）：
導電性の梁状構造物に設けられた探針を試料表面に接近させて走査する走査型トンネル顕微鏡において、静電駆動用電極が、走査面に垂直な方向で梁状構造物を挟むように、梁状構造物の両側に少なくともそれぞれ1つ以上設けられていることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
