特許
J-GLOBAL ID：200903042323653860
ガスレーザ装置用放電電極構体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中沢 謹之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265268
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069566
出願日： 1992年08月21日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 レーザガスを励起する放電を発生する一対の放電電極間において、電界集中によるアーク放電の発生を防止することを目的とする。【構成】 放電電極の弧状とされている周縁に、レーザガスよりも誘電率の大きい絶縁体を設置する。この絶縁体の設置により放電電極の周縁における電位は均等になり、電界の集中は緩和される。したがって電界集中によるアーク放電の発生が防止される。
請求項（抜粋）：
一対の対向する放電電極からなり、前記両放電電極間でレーザガスを励起する放電を発生させるガスレーザ装置用放電電極構体において、前記放電電極の弧状とされている周縁に、前記レーザガスよりも誘電率の大きい絶縁体を設置し、前記絶縁体の周縁を弧状としてなるガスレーザ装置用放電電極構体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 B
, H01S 3/03 F
