放射線イメージセンサおよびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 石田悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-022099
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214808
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】比較的大面積のイメージセンサ部を平板性を確保しつつマウント基板へと確実に載置して固定した放射線イメージセンサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】マウント基板20に表裏を貫通する貫通孔21を設けておく。イメージセンサ部1をマウント基板20に接着材30によって載置して固定する際に、マウント基板20の表面側(載置面側)と裏面側の空間60、61の圧力を異ならせて、表面側の圧力を高くすることで、貫通孔21を通じてイメージセンサ部1の表面と裏面間に大気圧差を生ぜしめ、この大気圧差を利用してイメージセンサ部1をマウント基板20へと押しつけて接着材30を硬化させることにより固定する。【選択図】図14

請求項（抜粋）：

2次元状に配置された複数の光電変換素子の表面に、放射線を該光電変換素子で検出可能な光に変換するシンチレータを堆積したイメージセンサ部と、該イメージセンサ部を載置するマウント基板とを備える放射線イメージセンサにおいて、前記マウント基板は、該イメージセンサ部を載置する面からその裏面へと貫通する複数の貫通孔を備えており、該貫通孔によって、該イメージセンサ部の載置される面と、シンチレータ形成面との間に気圧差を生ぜしめ、この気圧差により該イメージセンサ部がマウント基板へと密着させられて樹脂により固定されていることを特徴とする放射線イメージセンサ。

IPC (3件)：

G01T1/20 , G01T1/00 , H01L27/14

FI (6件)：

G01T1/20 L , G01T1/20 E , G01T1/20 G , G01T1/00 B , H01L27/14 K , H01L27/14 D

Fターム (28件)：

2G088EE01 , 2G088EE29 , 2G088FF02 , 2G088GG19 , 2G088GG20 , 2G088JJ05 , 2G088JJ10 , 2G088JJ37 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118BA14 , 4M118CA02 , 4M118CA32 , 4M118CB11 , 4M118EA01 , 4M118EA14 , 4M118EA18 , 4M118FA06 , 4M118FA33 , 4M118FA42 , 4M118HA02 , 4M118HA11 , 4M118HA22 , 4M118HA23 , 4M118HA24 , 4M118HA25 , 4M118HA30 , 4M118HA33

引用特許：

出願人引用 (1件)

光電変換装置及びそれを用いた撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-235301 出願人：キヤノン株式会社

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