特許
J-GLOBAL ID：200903042337570011
マイクロアクチュエータ、光偏向器および光走査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312402
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160750
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 角度の精密制御可能な信頼性の高い光偏向器を提供する。【構成】 固定電極11、支持板16、および支持梁13、131 はSiからなる同一基板上に固定されている。可動電極12、被駆動部14、15、支持板16は、ジョイント19、18、17を介して接続されている。固定電極11と可動電極12は、マイクロメカニクス技術により作製されるくし型のリニアマイクロアクチュエータとする。さらに、被駆動部14に反射板31を備える。入射光32に対し、印加電圧による可動電極12の変位の違いで被駆動部14の角度が変化し、出射光32が走査される。
請求項（抜粋）：
固定電極および可動電極からなる駆動部と、一端が固定支持されたジョイントで接続された少なくとも2個の被駆動部と、前記駆動部および前記被駆動部を接続するジョイントとを有し、前記被駆動部が前記ジョイントの部分で繰り返し折れ曲がり動作をするマイクロアクチュエータであって、前記駆動部は、前記固定電極と前記可動電極との間に電圧が印加されることにより発生する静電力により前記被駆動部を駆動するものであり、前記被駆動部は、前記駆動部で発生される力の方向と、当該被駆動部の変位の方向とが異なるものであることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (2件)：
G02B 26/10 101
, G02B 26/08
