特許
J-GLOBAL ID：200903042338090110
リフアレンスウエハ枚葉管理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-265296
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074675
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 製造ロット中に製造過程における状態を把握するための標本として含まされた半導体ウェハであるリファレンスウェハについて作業、処理を指示できるようになる。【構成】 作業情報登録手段に製造ロット単位での作業条件のみならず製造ロット中の各リファレンスウェハについての処置をも登録できるようにし、作業指示手段に該作業情報登録手段からのデータに基づいて製造ロットに対する作業条件の指示のほか該製造ロット中の各リファレンスウェハについての処置について指示を行わせるようにすると共に、そして、リファレンスウェハの作業条件、処置についてその内容を変更できる更新入力手段を設ける。
請求項（抜粋）：
各製造ロット毎の一連の作業及びその条件と、半導体ウェハの製造過程における状態を把握するための標本とするリファレンスウェハ各々についてのリファレンスウェハを特定する認識符号乃至番号を伴った作業情報を登録できる作業情報登録手段と、上記作業情報登録手段から製造ロットの作業条件及び各リファレンスウェハについての作業内容を指示する作業指示手段と、上記作業情報登録手段の個々のリファレンスウェハについての作業条件を変更できる更新入力手段と、を有することを特徴とするリファレンスウェハ枚葉管理装置
IPC (2件)：
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