特許
J-GLOBAL ID：200903042342687490
液体原料供給装置及びこれを用いた銅層形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-068470
公開番号（公開出願番号）：特開2002-012975
出願日： 2001年03月12日
公開日（公表日）： 2002年01月15日
要約：
【要約】【課題】 別途の気化手段を使用することなく液体状態の原料を気体状態に変化させるとともに、蒸着工程の際に膜質の均一性及び工程の再現性が改善できるようにした液体原料供給装置及びこれを用いた銅層形成方法を提供すること。【解決手段】 本発明に係る液体原料供給装置は、一部分の幅を他の部分より狭くしたキャリアガス供給管と、前記キャリアガス供給管の狭い部分に連結され、ノズルが前記キャリアガス供給管の内部に露出されるように設置された噴射機と、前記噴射機に連結され、液体状態の前駆体を供給する前駆体供給管と、前記キャリアガス供給管の終端部に連結されたシャワーヘッドとを含んでなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
一部分の幅を他の部分より狭くしたキャリアガス供給管と、前記キャリアガス供給管の狭い部分に連結され、ノズルが前記キャリアガス供給管の内部に露出されるように設置された噴射機と、前記噴射機に連結され、液体状態の前駆体を供給する前駆体供給管と、前記キャリアガス供給管の終端に連結されたシャワーヘッドとを含んでなることを特徴とする液体原料供給装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
4K030AA11
, 4K030BA01
, 4K030CA04
, 4K030EA01
, 4K030FA10
, 4K030JA10
, 4K030KA41
, 4K030LA15
