酸素センサの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-304587
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124725
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】酸素センサ素子の検出電極を保護するための保護層を形成する保護層形成工程において、安定した保護層を形成することができ、酸素センサの応答性を安定したものとすることができる酸素センサの製造方法を提供する。【解決手段】本酸素センサの製造方法は、保護層形成工程の前後における酸素センサ素子の重量変化及び溶射時間より溶射装置の単位時間当りの溶射量を求め、該単位時間当りの溶射量が所定の範囲内となるように該溶射装置の出力を設定する。このような製造方法を用いることで、安定した保護層を形成することができ、安定した応答性を備える酸素センサ素子を製造することができる。

請求項（抜粋）：

酸素イオン伝導性を有する固体電解質体に検出電極及び基準電極を設けて酸素センサ素子とする素子形成工程と、保護材を溶射装置によって該検出電極の表面に溶射し、該検出電極の表面に保護層を形成する保護層形成工程と、を備える酸素センサの製造方法において、上記保護層形成工程の前後における酸素センサ素子の重量変化及び溶射時間より溶射装置の単位時間当りの溶射量を求め、該単位時間当りの溶射量が所定の範囲内となるように該溶射装置の出力を設定することを特徴とする酸素センサの製造方法。

Fターム (2件)：

2G004BB01 , 2G004BF03

引用特許：

出願人引用 (5件)

ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-207227 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
特開昭55-125447
気密膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-031997 出願人：日本碍子株式会社

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