特許

J-GLOBAL ID：200903042353805665

表面官能基検出方法

発明者： 岡本 昌幸 ,  八川 亮子 ,  若狭 正信 ,  脇阪 達司
出願人/特許権者： 花王株式会社
代理人 (1件)： 古谷 馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-291504
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132802
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】各種の材料表面に存在する官能基を高選択的に検出可能な測定方法の提供。【解決手段】材料表面に存在しない元素を含む化合物を材料表面の官能基と常温で気相において選択的に反応させ、反応後の材料表面を元素分析する。元素はハロゲン、特にフッ素又は塩素が好ましく、化合物としてはこれらの元素をC1〜C4までのアルキル鎖に含むものが好ましい。分析手段はESCA、AES、XMA、SIMSなどから所要に応じて適宜選択され、反応と組み合わせられる。

請求項（抜粋）：

材料表面に存在する官能基の検出方法であって、前記材料表面に存在しない元素を含む化合物を前記官能基と気相において選択的に反応させ、反応後の材料表面を元素分析することを特徴とする検出方法。

IPC (3件)：

G01N 31/00 ,  G01N 27/62 ,  G01N 23/225

FI (4件)：

G01N 31/00 Z ,  G01N 31/00 Q ,  G01N 27/62 B ,  G01N 23/225