特許
J-GLOBAL ID：200903042361482182
断面形状測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-304162
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147850
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】被測定物の色や周囲の明るさに影響されない正確な測定が可能な光切断方式の断面形状測定装置を提供すること。【構成】CCDカメラ5のシャッタースピード(露光時間)を可変式にする。そして、自動的にCCDカメラのシャッタースピードを変化させ、その時々に取り込んだ各画像データに演算処理を施して最適なシャッタースピードを選択する演算処理部22と、この最適値にCCDカメラ5のシャッタースピードを可変制御する信号を出力するタイミング制御部23とを設ける。
請求項（抜粋）：
被測定物の表面にスリット光を照射する投光手段と、前記表面からの反射光を受光してその形状を認識する認識手段と、当該認識手段からの画像データを記憶する記憶手段と、当該記憶手段に記憶された画像データに基づいて周囲に対するスリット像の相対明るさを演算する演算手段と、当該演算手段の演算結果に基づいて前記認識手段の最適露光時間を選択する選択手段と、当該選択手段の選択結果に従って前記認識手段の露光時間を制御する制御手段と、を有することを特徴とする断面形状測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G06F 15/62 400
, G06F 15/64 325
, G06F 15/70 335
