ネガ型感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2003014019
公開番号（公開出願番号）：WO2004-042474
出願日： 2003年10月31日
公開日（公表日）： 2004年05月21日
要約：

酸性基および分子内に3個以上のエチレン性二重結合を有するアルカリ可溶の感光性樹脂(A)と、水素原子の少なくとも1つがフッ素原子に置換された炭素数20以下のアルキル基(ただし、前記アルキル基はエーテル性の酸素を有するものを含む。)を有する重合単位(b1)、およびエチレン性二重結合を有する重合単位(b2)を有する重合体からなる撥インク剤(B)と、光重合開始剤(C)とを含有し、撥インク剤(B)におけるフッ素含有量は、5〜25質量%であり、撥インク剤(B)のネガ型感光性樹脂組成物の全固形分における割合は、0.01〜20質量%であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、基材密着性、撥インク性およびその持続性に優れ、さらにはアルカリ溶解性、現像性に優れている。

請求項（抜粋）：

酸性基および分子内に3個以上のエチレン性二重結合を有するアルカリ可溶の感光性樹脂(A)と、水素原子の少なくとも1つがフッ素原子に置換された炭素数20以下のアルキル基(ただし、前記アルキル基はエーテル性の酸素を有するものを含む。)を有する重合単位(b1)、およびエチレン性二重結合を有する重合単位(b2)を有する重合体からなる撥インク剤(B)と、光重合開始剤(C)とを含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。ただし、撥インク剤(B)におけるフッ素含有量は、5〜25質量%であり、撥インク剤(B)のネガ型感光性樹脂組成物の全固形分における割合は、0.01〜20質量%である。

IPC (5件)：

G03F 7/004 , G02B 5/20 , G03F 7/027 , G03F 7/038 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F7/004 501 , G03F7/004 505 , G02B5/20 101 , G03F7/027 502 , G03F7/038 501 , H01L21/30 502R

Fターム (27件)：

2H025AA04 , 2H025AA06 , 2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB13 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025BC83 , 2H025BC84 , 2H025CA00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB51 , 2H025CC11 , 2H025CC20 , 2H048BA02 , 2H048BA55 , 2H048BA56 , 2H048BA60 , 2H048BA64 , 2H048BB02 , 2H048BB24

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