特許
J-GLOBAL ID：200903042376750809
セラミックス製静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086402
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302677
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は導電性、半導電性または絶縁性の対象物を強く静電性に吸着保持し、容易に脱着することができることから、半導体や液晶の製造プロセスなどに有用とされるセラミックス製静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のセラミックス製静電チャックは、電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁製誘電体層で被覆し、この絶縁性誘電体層の一方の面にプレート部を接合してなるセラミックス製静電チャックにおいて、プレート部をけい素を含む炭化けい素で形成し、必要に応じプレート部と絶縁性誘電体層とをアルミニウムまたはアルミニウム合金層で接合してなることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆し、この絶縁性誘電体層の一方の面にプレート部を接合することにより構成するセラミックス製静電チャックにおいて、プレート部をけい素を含む炭化けい素からなるものとしてなることを特徴とするセラミックス製静電チャック。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H01L 21/78
, H02N 13/00
