ワイヤソー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019775
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218495
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】大口径のワークを切断するワイヤソーを小型化すること。【解決手段】本発明では、ワイヤソー10の架台をベース架台60とメイン架台62とから構成し、前記ベース架台60を、メイン架台62を支持する部分の両側の不要部分を切除した形状に形成する。切除した部分は、ベース架台60の強度に大きな影響を及ぼさないので、その分だけワイヤソー10が小型になる。

請求項（抜粋）：

一対のワイヤリール間のワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させるとともに前記ワイヤ列に加工液を供給しながらワークを押しつけることにより、多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤソーの架台は、ワークの送り装置を支持する第1の架台と、該第1の架台と前記複数個のグルーブローラを支持する第2の架台とから構成され、前記第2の架台は、前記複数個のグルーブローラを支持する幅の広い部分と、前記第1の架台を支持する幅の狭い部分とを組み合わせた凸字状に形成されたことを特徴とするワイヤソー。

Fターム (8件)：

3C058AA05 , 3C058AA14 , 3C058AB04 , 3C058CA04 , 3C058CA05 , 3C058CA06 , 3C058CB05 , 3C058DA03

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