特許

J-GLOBAL ID：200903042384316778

マイクロアクチュエータ

発明者： 清倉 孝規 ,  上西 祐司
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 和泉 良彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-314200
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117897
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 印加電圧を高くすることなく可動体の制御可能最大可動範囲を大きくする。【解決手段】 下部基板21に上部基板22を取り付け、上部基板22の基部23に支持梁24を介して移動枠体25を設け、移動枠体25に支持梁26を介して移動体27を設け、移動枠体25の裏面に上部電極28を設け、移動体27の裏面に上部電極29を設け、下部基板21の上面30に凹部31を設け、上面30に下部電極32を設け、凹部31に下部電極33を設け、下部電極32、33をそれぞれ上部電極28、29と対応する個所に位置させる。

請求項（抜粋）：

下部基板に上部基板を取り付け、上記上部基板に可動体を設け、上記可動体に第1の上部電極を設け、上記下部基板の上記第1の上部電極と対応した位置に第1の下部電極を設けたマイクロアクチュエータにおいて、上記上部基板の基部に第1の支持梁を介して可動枠体を設け、上記可動枠体に第2の支持梁を介して上記可動体を設け、上記可動枠体に第2の上部電極を設け、上記下部基板の上記第2の上部電極と対応した位置に第2の下部電極を設けたことを特徴とするマイクロアクチュエータ。

IPC (5件)：

B81B 3/00 ,  G02B 7/198 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/10 104

FI (5件)：

B81B 3/00 ,  G02B 26/08 E ,  G02B 26/10 C ,  G02B 26/10 104 Z ,  G02B 7/18 B

Fターム (16件)：

2H041AA14 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ03 ,  2H041AZ08 ,  2H043BB05 ,  2H043BC03 ,  2H043CB00 ,  2H043CD03 ,  2H043CD04 ,  2H043CE00 ,  2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB43 ,  2H045AB72