特許
J-GLOBAL ID：200903042386121907
走査型プローブ顕微鏡とその接近機構
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-209965
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038021
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 市販のカンチレバーチップを利用し、構成が簡単であって、調整が容易であり、装置設計上の構成の自由度が高く、探針の高速な接近移動と高い精度の接近を可能にする走査型プローブ顕微鏡の接近機構を提供する。【解決手段】 探針17b を備えた測定用カンチレバー18b とその動作を検出する光てこ式検出光学系24,25 を備え、移動機構で試料11と測定用カンチレバーを接近させ、さらに、測定用カンチレバーに対し並設された、長形の接近監視用カンチレバー18a と、接近監視用カンチレバーをその共振周波数で振動させる圧電素子21と、測定用カンチレバーの共振周波数と接近監視用カンチレバーの共振周波数を加えてなる周波数の音波を発生する圧電素子22と、検出光学系の出力信号に基づいて接近監視用カンチレバーが試料に接触したことを検出する判定器26を備えている。
請求項（抜粋）：
先部に探針を備えた測定用カンチレバーとこの測定用カンチレバーの動作を検出する検出機構を備え、試料ステージ上の試料と前記測定用カンチレバーのうちいずれか一方を移動機構で移動させて両者を接近させるように構成された走査型プローブ顕微鏡において、前記測定用カンチレバーに対して並設された、前記測定用カンチレバーよりも長形の接近監視用カンチレバーと、前記接近監視用カンチレバーをその共振周波数で振動させる加振手段と、前記測定用カンチレバーの共振周波数と前記接近監視用カンチレバーの共振周波数を加えてなる周波数の音波を発生する音源と、前記検出機構の出力信号に基づいて前記接近監視用カンチレバーが前記試料に接触したことを検出する判定手段を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
